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湖南中科专用仪器制造有限公司
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SRS-400型磁控溅射PVD系统,配备三个独立磁控靶,采用涡轮分子泵组和超高真空腔室及自动压控系统等高端配置,适用于沉积各种金属和反应膜层。
主要用于多层薄膜制备,实现金属、金属合金、磁性材料以及氧化物等多种材料的精确制备。