UHV腔室

超高真空腔室是指内部真空度能够达到超高真空环境的密封腔体，超高真空腔室根据应用环境有多种形状结构，常见的有球形、柱形、方形、多接口管道、异形等形状。UHV腔室根据使用要求可以用不锈钢、铝合金、钛合金等材质制作。

参照规范

GB/T 1503-1994《钢制真空腔体焊接工艺评定方法》

GB/T 1567-1994《铝合金制真空腔体焊接工艺评定方法》

GB/T 1568-1994《铝合金结构焊接工艺评定方法》

JB/T 8102-1999《真空腔体阳极保护焊接工艺评定方法》

JB/T 8103-1999《真空腔体阴极保护焊接工艺评定方法》

JB/T 8104-1999《真空腔体电弧焊接工艺评定方法》

JB/T 8105-1999《真空腔体等离子体放电焊接工艺评定方法》

GBT6070-2007真空法兰最新标准规范

腔室焊接

在UHV腔室制作过程须保证良好的气密性。

焊缝的真空密封性要达到允许的气体漏率不低于1E-10Pa.m3/sec。

焊缝要有足够的机械强度, 保证设备的安全正常运行;

焊缝应有利于获得光滑的真空“清洁”加工表面;

超高真空与极高真空设备上的零部件须能承受400℃的烘烤。

UHV腔室制作工序：

材料加工-尺寸配合-主体焊接-核验尺寸-焊后处理-表面处理-氦质谱仪真空检漏-成型。

表面处理效果

铝的优秀真空特性：

应用于超高真空，H2比不锈钢少7个数量级。

减少碳污染 10 倍的导热率和 21 倍的热扩散率，可实现快速、完整的烘烤和无与伦比的热性能。

排气速率低于 1 x 10-13 托升/秒.cm2，适用于极高真空。

对多种化学品具有高耐受性。

可选择阳极氧化以实现耐电性或耐化学性。

低 Z（低核活化）可减少残余辐射。

无磁性，适用于需要铝的应用。

重量减轻 1/3，易于管理 降低材料和运营成本，提高利润。

机械加工速度比不锈钢快 10 倍，从而降低制造成本。

UHV腔室表面处理：

腔室焊接后一般采用酸碱洗和电解抛光等处理，腔室内表面需要光滑，甚至是镜面。铝合金腔室一般是采用氧化和表面钝化等工艺降低铝材的吸放气量，防止表面污染腐蚀等。

铝合金腔室

由于铝合金卓越的机械加工性能（比不锈钢快 5 到 10 倍），铝制腔室可以制造出更多不锈钢无法做到的细节。铝还很容易地进行切割、成型和挤压。结合高质量的表面处理技术，以往铝比不锈钢大的吸放气量特性得到根本性的解决，铝合金腔室已广泛用于半导体制造、粒子物理、医疗、核能、低温、石油和天然气以及许多其他应用。

UHV腔室及部品非标定制链接：http://www.uhvinstech.com/productinfo/2183074.html