HRGA-250型计量级真空规校准仪

本系统依据国家计量技术规范要求设计制造，压力测控范围涵盖从正压1000torr至超高真空，用于校准标准真空计和各类型的真空计产品。系统采用超高真空配置、5个超高真空标准压力计、全自动压力控系统和多功能测控软件。适用于薄膜规、皮拉尼计、冷（热）阴极真空计及复合真空计测量和标定。结构紧凑、功能齐全、校准效率高。标准计经国家计量院检定并出具检定报告，符合国家真空量值溯源表相关规定。

参照规范

JJF1050-1996《热传导真空计校准规范》

JJF 1503-2015《电容薄膜真空计校准规范》

JJG(军工）63-2015《真空计（比对法）检定规程》

JJF062-1999《电离真空计校准规范》

技术指标

极限真空度：≤1×10-6Pa（选配离子泵≤1E-9Pa)；

校正范围：大气压至1x10-4Pa；

压力控制精度：≤0.2‰；

测试工位：8个

设备漏率：＜1E-12Pa.m3/s；

扩展不确定度Urel≤2%，(k=2)；

系统的综合校正误差度≤0.2‰；

读数重复性：±0.5‰。

趋势压控周期：＜3min

工作原理:

静态膨胀法+动态比对法；

压力控制：自动；

腔室结构：250mm球形；

参照规范

JJF1050-1996《热传导真空计校准规范》

JJF 1503-2015《电容薄膜真空计校准规范》

JJG(军工）63-2015《真空计（比对法）检定规程》

JJF062-1999《电离真空计校准规范》

技术指标

系统极限真空度：≤1×10-6Pa；

校正范围：大气压至5E-6Pa；

压力控制精度：≤2.5‰；

设备漏率：＜1×10-12Pa.m3/s；

扩展不确定度Urel≤2%，(k=2)；

系统的综合校正误差度≤8‰；

读数重复精度：±5‰。

检测工位：4/6个

趋势压控周期：＜3min

工作原理:

静态膨胀法+动态比对法；

压力控制：自动；

标准压力计：Inficon CDG 045D；

腔室结构：150mm圆柱形；

系统配置

SRGA-300B型工业级真空计校准仪

系统简述

本系统依据国家计量技术规范要求设计制造，适用于薄膜规、电阻规、电离规等真空压力计生产过程的量程标定和校准。配备高精度压控系统和气体流量控制器，高速测控软件和多通道数据总线功能，符合 ISO 90XX和其他行业特定真空计质量标准。系统采用5个高精度可溯源标准真空计，精度高达 2.5‰。标准覆盖范围涵盖几乎所有真空量程。专有设计的压力控制算法允许高达设定点 0.5% 的可重复控制精度。

参照规范

JJF1050-1996《热传导真空计校准规范》

JJF 1503-2015《电容薄膜真空计校准规范》

JJG(军工）63-2015《真空计（比对法）检定规程》

JJF062-1999《电离真空计校准规范》

技术指标

系统极限真空度：≤1×10-5Pa；

校正范围：大气压至5E-5Pa；

压力控制精度：≤5‰；

设备漏率：＜1E-12Pa.m3/s；

扩展不确定度Urel≤2%，(k=2)；

系统的综合校正误差度≤1%；

读数重复精度：±5‰。

检测工位：30个

趋势压控周期：＜3min

工作原理:

静态膨胀法+动态比对法；

压力控制：自动；

标准压力计：Inficon CDG CUBE；

腔室结构：300mm飞碟形；

系统配置

系统简述

本系统依据国家计量技术规范要求设计制造，适用于半导体、制药、航空航天和其他行业的真空计校准。提供高精度准确性外，系统还提供内置校准管理软件，以确保符合 ISO 90XX和其他行业特定质量标准。该系统采用3 个高精度可溯源标准真空计，精度高达 8‰。标准涵盖超高真空以下所有真空量程，在所需的校准压力范围内提供最佳精度。专有设计的压力控制算法高达设定点 5‰ 的可重复控制分辨率。

系统配置

真空计校准装置系列产品链接：http://www.uhvinstech.com/cpfw

SRGA-100便携式真空计校准仪

系统优势

本系统采用超高真空配置，使用范围广,可校验从超高真空到1000torr正压压力。；压控精度高，选用计量级标准计可用于计量机构用于标准真空计的定期校准和标定；适用于真空计校准于半导体、制药、航空航天和其他行业的真空计校准。提供高精度准确性外，系统还提供内置校准管理软件，以确保符合 ISO 90XX和其他行业特定质量标准。该系统采用3 个高精度可溯源标准真空计，精度高达 2.5‰。标准涵盖超高真空以下所有真空量程，在所需的校准压力范围内提供最佳精度。专有设计的压力控制算法高达设定点 5‰ 的可重复控制分辨率。