系统特点：

超高真空环境除气，有效避免工件氧化和污染。

多段式真空度温控系统避免急热导致工件变形。

旋转工件盘保证腔内工件均匀受热。

一次性完成除气、铜管截尾密封和激活工序，保证工件压力可靠，无氧化污染。

全自动过程控制，保证产品合格率99%以上。

多种工艺流程，可切换材料和工件规格。

一键式操作简单、可靠。

超高真空除气密封一体化系统

电容薄膜真空规工艺设备。非标定制除气+铜管封尾+吸气剂激活一体化装置，薄膜规内标准压力包在超高真空环境内持续维持高温72小时对包内表面除气、并在除气完成后炉内自动完成吸气剂激活和铜管密封，该装置是电容薄膜压力计生产的主要设备之一。主要型号有UHV-600型和UHV-900型

技术参数：

极限真空度：≤1E-6Pa

极限温度：＞500℃

温度均匀性：±5℃

除气时间：＜72小时

工件封尾时间：＜2秒

单次封尾数量：32/46/60个

主要配置：

主腔室：定制1000mm*400mm(H)

前级泵：AGILENT ADP15

分子泵：EDWARDS 1600L/s

工件盘：定制

封尾钳：定制 

真空计：INFICON MPG400

定位器：安川伺服

液压泵：70Mpa

UHV-900型除气+铜管密封装置：http://www.uhvinstech.com/productinfo/2166738.html