SRS-600溅射仪 loadlock多靶位磁控溅射系统
参数
- 溅射室极限真空度：≤6.7×10-5Pa
- Load-Lock室极限真空度：≤6.7×10-1Pa
- 溅射室抽气时间：6.7×10-1Pa -- 9×10-4Pa≤10min
- 系统保压：停泵关机12小时后，真空度≤5Pa
- 系统漏率：≤5×10-7Pa·L/s
- 靶枪尺寸：2inch*4
- 靶角度调节精度：1°
- 样品台功能：温度≤600℃±1℃ 可自转（0-30rpm）温度不均匀性：≤±1%
- 偏压：800V
- 靶基距调节范围：8-12cm
- 镀膜均匀参数：Φ4inch 不均匀性≤±5％
- 机械手参数机械手精度：≤0.1mm 机械手悬垂：≤0.5mm
创建时间：2025-01-11 11:23
