UHV本底腔室非标设计和制造 

专业超高真空本底腔室设计、制作一站式解决方案。

SRGA系列真空计标定装置

提供多个高精度真空压力控制系统的解决方案，满足不同精度和测试工位需求。

薄膜真空压力计工艺设备设计制造

非标定制电容薄膜真空压力计的标准压力包除气和密封一体化设备。

便携式科研镀膜仪

非标定制便携式科研实验用真空镀膜仪，即插即用，完全替代大型镀膜仪

UHV复合PVD系统

非标定制离子束辅助的磁控溅射、电子束蒸发、离子束溅射系统。

电容薄膜真空计维修校准服务

提供电容薄膜真空计的维修、标准压力探头的换装和电控调校服务。

HDPECVD系统

提供科研实验适用的石墨、陶瓷、锆石等CVD薄膜沉积系统解决方案

超低温氦气液化系统

提供科研和工业生产用的4-10K超低温氦气液化系统解决方案

充氦检漏回收系统

提供半导体器件的半成品及生产设备的氦质谱检漏和氦气回收系统的解决方案。