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致力于超高真空（UHV）技术应用的各种系统解决方案

 

非标定制-真空计标定装置·便携式镀膜仪·真空计生产装备

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技术博文

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  • 容易被忽视的连接 —超高真空系统的电气馈通

    真空系统在各个行业的应用越来越普遍。如电子真空加工系统、电池真空生产系统、蒸发镀膜真空系统、废液真空回收系统、物料浓缩结晶真空系统、食品真空系统等等。

    넶284 2024-03-19

  • 英福康CDG系列电容薄膜真空计使用指南

    INFICON 陶瓷电容隔膜真空计 (CDG) 专为真空行业中要求最严格的最高精度 (0.15%) 应用而设计。耐腐蚀的超纯氧化铝传感器保证了卓越的性能和最佳的长期跨度稳定性、高精度和多年免维护寿命。

    넶318 2022-11-08

  • 电子束蒸发技术简述

    电子束（e-beam）蒸发是一种久经考验的沉积技术，用于生产致密、高纯度的涂层。

    넶772 2022-09-24

  • PVD技术-磁控溅射

    溅射是一种基于等离子体的沉积工艺，其中高能离子被加速朝向目标。离子撞击靶材，原子从表面溅射喷出。这些原子向衬底移动并结合到正在生长的薄膜中。

    넶1018 2022-09-16

薄膜规标准压力包除气及密封

高精度真空压力计的标准压力包除气密封一体化装置设备制造。

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UHV本底真空腔室

设计制作各种超高真空非标腔室、接口法兰、观察视窗、磁流体旋转装置及真空腔室内运动装置。

复合薄膜沉积

离子束辅助的PVD和CVD系统。包括离子束辅助的磁控溅射、电子束蒸发、离子束溅射等复合沉积系统。

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真空计校准标定装置

基于UHV技术的科研实验设备、真空压力计和标准漏孔的制造和标定设备。

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便携式科研仪器设计制造

设计和制造各种科研实验的真空镀膜、CVD、特定功能的非标仪器。

薄膜规校准维修

深度维修MKS、INFICON等品牌电容薄膜真空计。

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应用案例