真空测量和压力控制

UHV系统是真空计、流量计、标准漏孔、真空泵浦等真空单元设备性能测试的必备装置。

薄膜沉积技术

PVD系统是UHV技术最典型的应用范例。磁控溅射、真空热蒸发、电子束蒸发、离子束溅射等系统是多个行业的必备技术。

超高真空冷焊密封技术

真空容器在超高真空环境内剪切密封技术。

磁控溅射

溅射是固体材料的微观粒子在材料本身被等离子体或气体的高能粒子轰击后从其表面喷射出来的现象。

电子束蒸发

热蒸发是薄膜沉积的一种形式，是在高真空环境加热固体材料至升华状态并在基板表面沉积薄膜的过程

分子束外延(MBE) 

分子束外延(MBE) 是一种外延工艺，是材料在 UHV 条件下通过原子束或分子束的吸附物质的相互作用在加热的晶体基板上产生膜层 。

高端化学气相沉积

超低温氦气液化

原子层沉积 (ALD) 

原子层沉积 (ALD) 是一种具有原子级精确生长的薄膜沉积技术，是一种基于表面气相化学反应的薄膜淀积技术。