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湖南中科专用仪器制造有限公司
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磁控溅射和离子束辅助相结合的系统技术是许多高性能薄膜制程的理想工艺，可以使用在高端镀膜和半导体制程等多个环节。
定制生产单/双电子束蒸发、电子束+电阻热蒸发、电子束沉积+离子束辅助等多种工艺PVD系统。
