SIBE-600A型电子束蒸发镀膜仪 电子束+电阻热蒸发双功能镀膜设备
配置参数
- 极限真空度：优于3×10-5Pa
- 系统漏率：优于1 x 10-9 Torr･L/s
- 腔室大小：500mm*500mm*500mm
- 源基距：可调节
- 膜厚均匀性：≤ ±3%
- 成膜速率：各种材料综合速率≥10nm/min
- 热阻蒸发：1组
- 电子束：10kw/2*10cc
- 基台自转：0-30RPM
- 基台温度：选配
创建时间：2025-01-21 12:54
