高真空蒸镀溅射互联镀膜机（EBE-MS-700）
系统配置
- 工艺真空室、样品进样室
- 3套抽真空系统
- 3套真空测量系统
- 电子束蒸发源 / 电阻蒸发源
- 薄膜沉积控制模块
- 磁控溅射模块
- 自动控制系统
- 独立水冷系统
参数
- 产品名称：EBE-MS-700
- 极限真空度：优于1*10-5Pa
- 系统漏率：5*10-9Pa･L/s
- 样品尺寸：最大支持6inchi
- 样品台转速：0-30rpm可调
- 薄膜均匀性：≤ ±3%
- 操作系统：PCL or PC
- 选配：可根据客户需求定制功能模块（腔室定制、样品台加热/冷却定制、样品台定制、源基距可调定制、腔室加热、气氛控制、电子束类型及配套电源和自动场扫描控制模块、视窗滤光、靶基距可调定制、溅射电源类型定制等）
创建时间：2025-01-10 14:39
