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湖南中科专用仪器制造有限公司
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本系统依据国家计量技术规范要求设计制造，压力测控范围涵盖从正压1000torr至超高真空，用于校准标准真空计和各类型的真空计产品。系统采用超高真空配置、5个超高真空标准压力计、全自动压力控系统和多功能测控软件。
电容薄膜真空计（Capacitance Diaphragm Gauge, CDG）是基于 “膜片形变 - 电容变化” 原理的高精度真空测量仪器，核心优势在于全压力测量（不受气体种类影响）、宽量程覆盖（10⁵~10⁻⁶ Pa，部分高端型号可达 10⁻⁸ Pa）、高精度（±0.1%~±1% FS）、毫秒级响应速度，且支持耐腐、高温、低温等特殊工况定制（如哈氏合金膜片、陶瓷膜片）。其应用场景集中在对真空度精准控制、气体成分复杂、动态压力响应要求高的行业。
真空计控制器是真空测量系统的核心控制与数据处理单元，专为真空计配套设计，实现真空度的精准监测、信号解析与智能调控。
MDG® 系列电容薄膜真空计运用金属薄膜在压差环境的电容线性变化特性测量真空压力，具有超高准确度和高可重复性等优点。该真空计采用镍基合金材质制造，适用于高腐蚀性气体环境。结构紧凑，经100%焊接成型工艺、严苛的工序泄漏率检查、以及最高级别的防真空溢出设计和安全性测试。测量范围为 1000 Torr至 1×10⁻⁴Torr，最高测量精度达 0.1%，可满足绝大多数真空压力测量和控制工艺需求。是半导体、航空航天、光学镀膜和科研实验等领域理想的超高精度绝压真空计。
VDG® 系列电容薄膜真空计 用于各压强范围气压值的绝对测量。可在0.1毫托至1000托的宽量程内提供精确、稳定的压力测量。其坚固的设计确保其在关键工业和研究应用中具有长期可靠性。真空计可连接PLC等系统和专门设计的真空计控制器或其它测量单元。
真空计是一种用于测量和监控真空度的仪器，广泛应用于半导体制造、航空航天、医疗设备和化学工业等领域。准确的真空计测量对于保证工艺过程的稳定性和产品质量至关重要。随着使用时间的增加和气体环境的不同，真空计的测量精度可能会下降，需要定期进行校准以确保准确性。
