真空计校准 电容薄膜真空计量程标定
真空计为什么要校正和标定？
- 各类型的真空规和测量计出厂使用一段时间后，因设备工艺的影响、表面沉积物堆积、油污污染、电子漂移等因素导致真空计测量的准确度出现误差。
- 真空计的测量精度的误差会直接影响生产工艺的稳定性、设备使用的安全性、产品质量的可靠性、科学实验的准确性。
- 要确保真空计的高可靠性使用，就必须经常对它进行校准或标定，而根据不同应用的具体要求，这些校准工作必须符合相关行业的使用标准。
影响真空计灵敏度的因素：
- 被测气体的种类
- 温度
- 准确度
- 电导脉动
- 震动
真空计校准流程
校准前清洁：真空计在校准之前需对真空计进行充分的清洁和保养，包括清除附着在传感器表面的污垢和杂质，确保连接法兰的密封良好。
标准薄膜真空计：1000torr、100torr、10torr、1torr、0.1torr及定制量程。
图一：计量级标准真空计
校准仪准备：校准过程中需要使用已知真空度的参考标准来验证真空计的测量结果。通常，校准仪器提供给定标准真空度，以便校准人员可以根据需要选择合适的量程进行校准。
图二：真空计校准标定装置
校准：使用相同量程的标准真空计和被校真空计在相同的真空压力和温度环境中。采用静态膨胀法和动态比对法校准方式校准，先在设定的压力将被检真空计归零，然后比对标准真空计和被检真空计的压力值，根据差异的大小，可以调整被校真空计的补偿电路数据，以使其和标准真空计的压力值在允许压力范围。
图三：真空计校准
记录校准数据：校准结果的记录和报告对于质量控制和追溯至关重要。校准人员应保留校准记录并出具正式校准报告。
影响真空计准确的因素：
- 电子漂移误差
- 环境温度变化
- 污染导致误差
- 气体种类和压力变化
真空计的种类：
- 皮拉尼真空计
- 电容薄膜真空计
- 冷阴极真空计
- 热阴极真空计
- 复合真空计
INFICON电容薄膜真空计
MKS电容薄膜真空计
我们配备了完整的真空计校准系统和齐全标准真空计。提供各种类型的真空规维修、量程校准。包括薄膜规校准标定和压力包换装，皮拉尼规、潘宁规、倒磁控规管，电离规。品牌包括MKS、INFICON、LEYBOLD、EDWARDS、PFEIFFER、AGILENT等。
创建时间：2024-04-14 21:58
