定制款超高真空实验系统，超高真空实验装置
装置简述：
该装置为专用定制设备，4腔室超高真空测试系统，，由3个直径800*400mm(H)真空系统多端与直径500*400（H）的中间腔室连接的测试系统，大腔室安装有单独测试平台，可根据工艺需求科研试验。
- 超高真空测试系统
- 真空内密封装置测试
- 多真空环境模拟
- 超高真空系统配置，极限真空度＜5E-7Pa；
- 多段式真空环境加热除气，保证产品除气质量。
- 一体化完成除气、截尾、检测等工序无需人工干预；
- 视觉系统在线检测封口质量。避免批量报废；
- 整个工艺过程完全在超高真空环境内完成，不受外界环境因素影响；
- 预设参数全自动运行无需人为干预，手自动可轻松切换；
- 实时数据监控，便于产品质量溯源跟踪。
3个内径φ800mm×400mm的大真空腔； 1个内径φ500mm×400mm的小真空腔；
3个DN150的管道，配备CF150的闸板阀；
3个DN100的管道，配备CF100的闸板阀；
3个直径φ450mm、厚度≥16mm的光学平台，有带防震的支撑柱；
3套400L/S离子泵及其电源；
3套分子泵机组及高真空阀门；
4套全量程真空计，量程范围:大气压1*10-8Pa;
4套干式涡旋真空泵，抽速36m3/hr；
无氧铜垫圈和氟橡胶密封圈及不锈钢固定螺栓等密封件，并提供2年使用备件一套。
大腔室配有单独八芯电极法兰、2组真空光纤法兰和备用CF法兰接口；
腔室尺寸：3个大腔室：内径φ800mm×400mm，小腔室：内径φ500mm×400mm
腔体及管道漏率：≤5×10-12PaM3/S；
大真空腔本底真空度：≤6x10-6Pa；
分子泵抽速：1300L/s；
前级干泵抽速：36立方/分钟；
3个独立带防震的支撑柱的光学平台，直径φ450mm、厚度≥16mm， 6061材料；
单独配备全量程复合超高真空计，可独立检测单腔室真空度也可以互联测试；
管道隔离形式：手动闸板阀CF100*3+手动闸板阀CF150*3；
创建时间：2024-06-12 23:38
