UHV-S800型超高真空除气+退火一体化装置
UHV-S800型超高真空除气+退火一体化装置
装置简述：
该装置为专用定制设备，是在超真空真空炉内进行高温除气后，在机体内部一体化完成工件退火的过程控制系统。整个工艺都在超高真空炉内进行，包括工件脱气和退火功能，在线跟踪检测等的过程控制。
- 真空计制造
- 非标工件脱气和退火
- 半导体制程
- 超高真空系统配置，极限真空度＜5E-7Pa；
- 多段式真空环境加热除气，保证产品除气质量。
- 一体化完成除气、退火、检测等工序无需人工干预；
- 视觉系统在线检测封口质量。避免批量报废；
- 整个工艺过程完全在超高真空环境内完成，不受外界环境因素影响；
- 预设参数全自动运行无需人为干预，手自动可轻松切换；
- 实时数据监控，便于产品质量溯源跟踪。
- 800*600*700mm方形不锈钢腔室；
- 涡轮分子泵+干式涡旋真空泵组；
- 超高真空本底腔室，可快速达到工艺真空压力；
- ＞200工位安装转架，保证工件均匀受热；
- 全自动炉内退火系统；
- 一键式启动全自动完成操作，方便快捷；
- 上下位机控制，可远程工艺控制。
- 专业操作软件系统，可以通过网络更新；
- 实时测控数据储存，可远程溯源产品工艺过程；
-
极限真空：＜1.0E-6Pa （烘烤除气后）
极限温度：1100℃
温度误差：＜5℃
加热速率：＜30min
单工件截尾时间：＜1.5s
单次加工数量：＞200pcs
产品漏率：＜1E-10Pa.m3/s
产品良率：＞95%
场地要求：
- 设备外形尺寸：1450mm×850mm×2000mm（H）
- 总质量：785KG 环境要求：
- 温度23℃±3℃；湿度＜60%R.H
- 供电要求：AC 230V；32A；50HZ
- 冷却水:（选配）0.2MPa，水温15～25℃，流量≥8L/min
- 供气： 0.5Mpa,80L/min
技术服务及质量保证：
本系统采用标准工业化模块构建，质量稳定可靠、通用配件易于更换、作业效率更高、产品品质满足实际规模生产要求。
提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；
一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费及差旅费，终身维修只核收工本费及差旅费；
创建时间：2024-03-17 12:17
