SRGA-300A型高精度真空计校准装置
装置简述：
依据国家计量技术规范要求设计制造，适用于半导体、制药、航空航天和其他行业的真空计校准。提供高精度准确性外，系统还提供内置校准管理软件，以确保符合 ISO 90XX和其他行业特定质量标准。该系统采用3 个高精度可溯源标准真空计，精度高达 0.025%。标准覆盖范围涵盖几乎所有真空量程，在所需的校准压力范围内提供最佳精度。专有设计的压力控制算法允许高达设定点 1‰ 的可重复控制分辨率。
- 科研实验真空压力计测试
- 计量单位真空压力测量
- 真空计生产
- 真空计维修
- 紧凑的一体化设计，即插即用快捷方便；
- 超高真空系统配置，极限真空度可＜1E-6Pa；
- 自研超高精度压控系统保证压力到位误差＜1%。同趋势压力值到位时间＜3分钟；
- 配备8个独立CF40接口，可轻松切换各种规格接口，同时可测试8个被测真空计；
- 预设参数全自动运行无需人为干预，手自动可轻松切换；
- 多通道软件测控系统，可同时显示8通道数值趋势和误差比较参数。
- Φ300mm圆柱形不锈钢腔室；
- 涡轮分子泵+干式涡旋真空泵组；
- 超高真空本底腔室，可快速达到设定超高真空压力；
- 电动蝶阀+气动板阀全程自动压力控制；
- 3个标准真空计满足从1000torr至超高真空压力范围测控；
- 3套MFC精密控制进气流量；
- 一键式启动全自动准备测控，方便快捷；
- 用户友好软件系统，可以通过网络更新；
- 单次最多可测控8个压力计，多通道实时数据显示；
- 检验室极限真空值：≤1×10-6Pa；
- 检验室烘烤温度：室温～100℃±0.5°；
- 设备漏率：＜1×10-12Pam3/s；
- 校验室压力调节范围：1×10-7torr～1.0×103torr
- 扩展不确定度Urel≤2%，(k=2)，系统的综合校正误差度≤1%；
- 校验室压力调节精度：≤0.7%；
系统图
系统实物图
场地要求：
- 设备外形尺寸：2550mm×1000mm×2000mm（H）
- 总质量：325KG
- 环境要求：温度23℃±3℃；湿度＜60%R.H
- 供电要求：AC 230V；32A；50HZ
- 冷却水:（选配）0.2MPa，水温15～25℃，流量≥8L/min
- 供气： 0.5Mpa,80L/min
技术服务及质量保证：
- 本方案采用标准工业化模块构建，质量稳定可靠、通用配件易于更换、作业效率更高、产品品质满足实际规模生产要求。
- 提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；
- 一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费及差旅费，终身维修只核收工本费及差旅费；
创建时间：2022-09-27 16:15
